～MEMS搭載 小型水流量計を共同開発しました～
この度、県工業技術センターとの間で、同センターの「ものづくり創造ラボ」を活用し、微小電気機械システム（MEMS）を搭載した水流量計を共同開発しました。 縦18ミリ、横6ミリ、厚さ1ミリのガラス基板に水を温めるヒーターと温度計の機能を一体化したことで、水車の回転数で計測する従来型に比べ 小型化が可能になりました。今後、耐久性、安定性などの検証を重ね、複合的な機能を持った、高性能な製品を目指し開発を進めてまいります
TECHMO NEWS
この度、県工業技術センターとの間で、同センターの「ものづくり創造ラボ」を活用し、微小電気機械システム（MEMS）を搭載した水流量計を共同開発しました。 縦18ミリ、横6ミリ、厚さ1ミリのガラス基板に水を温めるヒーターと温度計の機能を一体化したことで、水車の回転数で計測する従来型に比べ 小型化が可能になりました。今後、耐久性、安定性などの検証を重ね、複合的な機能を持った、高性能な製品を目指し開発を進めてまいります
