半導体製造装置での水質管理

電気抵抗率(比抵抗)測定モジュール：7733-A100／7741-A100（ダイシング・バックグラインド・フォトマスクなどの洗浄水の水質管理）
電気抵抗率計（比抵抗計）：7721-A100N／7731-A121（上記で表示機能が必要な場合）
電気伝導率計（導電率計）：7722-A102N（腐食防止薬注装置などの水質管理）

課題や導入の背景

• 半導体は、一般家庭で使用されているPC・スマートフォン・テレビや、新幹線や電車などの物流システム・インターネット・金融ネットワーク・医療インフラなどで使用する電子機器など、様々な製品に半導体が組み込まれており、社会を運営する上で必要不可欠な存在です。
• 半導体の製造は多くの工程を経て製造されますが、その過程で様々な薬品などが使用され、それを洗浄するために使用される「水（超純水）」は、製品の品質に重要な影響をあたえるので、高精度で測定可能な水質管理機器が必要でした。
• 半導体装置は多数のセンサー機器を使用しており、各種データはPLCとタッチパネルで集約・表示・警報出力するので、表示機能や警報出力機能などは不要で、なるべくコンパクトで高精度な計測機器が必要となっていました。

採用のポイント・主な採用機種

• 半導体製造装置業界ではダイシング装置や帯電防止装置などの水質管理機器として、主に電気抵抗率(比抵抗)測定モジュール（7733-A100／7741-A100）が採用されており、年間500台以上の採用実績があります。
• 適切な水質管理を行うことにより、洗浄不足による不具合の発生防止や洗浄水の使用量の適正管理など、製品の品質確保や稼働率の向上などに貢献しています。
• モジュールタイプ水質計は表示機能や警報出力機能などはありませんが、測定出力（4-20mA出力）のみと極限まで機能を絞ったので、高精度ながら省スペースで設置が可能で、表示機能などを省略したことにより、低コストでの導入が可能です。
• 測定レンジを切り替えできる機種もあり、超純水以外の水質測定にも活用されています。
• モジュールタイプ水質計以外にも、表示機能のついた高精度測定モデルの電気抵抗率計（比抵抗計）7721/7731シリーズや腐食防止薬注装置の水質管理用として、電気伝導率計（導電率計）7722/7732シリーズも多数採用されています。