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電気伝導率計、電気抵抗率計の用途別レンジ

電気伝導率計、電気抵抗率計の用途別レンジ

電気伝導率とは、水中の電気の流れやすさを表す指標(電気抵抗率は、電気の流れにくさを表す指標)で、電極間に流れる電流値を測定することで、純度の高い水なのか、不純物が多い水なのかを判断します。

単位は一般的には、電気抵抗率は[MΩ・cm](メグオーム・センチメートル)で、電気伝導率は[μS/cm](マイクロジーメンス毎センチメートル)という単位が用いられます。
弊社の電気抵抗率計、電気伝導率計は、幅広い分野・用途で使用されています。
お客様でご使用になる場面ごとで、測定レンジは違ってきます。
使用用途別に測定レンジの一覧を下記に記載しておりますので、目安にしてください。

水質レンジ表

例えば、医薬用水で使用される水については、品質を恒常的に確保するため、日常的な水質管理により水質を保証しつづけることが重要とされています。
医薬品の製造、容器や設備の洗浄などに使用される水を精製用水と称します。精製用水には常水、精製水、滅菌精製水など、それぞれに日本薬局法で規定した水質の規格があります。
薬品の溶剤として、製剤、試液、試薬の調整に用いる精製水については、2.1μS/cm以下の電気伝導率が求められます。(第十八改正日本薬局方 2021年6月)

半導体製造工場では、製造工程におけるシリコンウェハーの洗浄工程で使用する水は、超純水と言われる一般的な無機質、細菌、微生物などを取り除いた高度に精製された水です。
超純水は、「限りなくH2Oに近づけた水」。理論純水(純粋な水)の電気抵抗率は18.24MΩ・cmであり、これに限りなく近づけたものが超純水です。
様々な電子機器に使用されている半導体の製造において、非常に多くの工程でさまざまな化学物質が使用されています。
次の工程に進む前に回路に付着している余分な化学物質をきれいに取り除く必要があり、その洗浄に、「超純水」が使われています。

半導体の微細化技術は2~3年周期で進歩しています。台湾などでは、現在の回路線幅は3~5nmほどの線幅の回路の半導体の量産化が進んでいます。
こういったナノメートル単位の微細加工を取扱い半導体を洗浄する為には、高度に精製された超純水が必須になってきます。

ビルの空調や冷暖房設備には冷却塔(クーリングタワー)と呼ばれる水を冷却する設備が存在します。日本冷凍空調工業会標準規格には冷凍空調機の熱交換器の寿命延長、効率保持、効率の低下防止の為に冷却水の水質基準、管理方法を定めており、水質の基準項目における電気伝導率は800μS/cm で管理しています。

このように、水質を管理する様々な場面で、管理するレベルが違います。
お客様の使用用途に合わせた電気抵抗率計や電気伝導率計が必要になってきます。

Sensing eyeは超純水~1000μS/cm(水道水クラス)の比較的きれいな水の管理や計測を得意としています。そういった用途でご利用になるお客様であればお力添えできると思います。お客様で測定できるか判断が難しい場合でも、Sensing eyeのスタッフが調査をお手伝いさせていただきます。

お客様に合った製品を推薦・ご提供いたしますので、ご気軽にお問合せください。

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